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ASML光刻機工廠突發(fā)火災

這一年多來,全球半導體產(chǎn)能緊張,臺積電等芯片制造公司也在積極擴大產(chǎn)能,光刻機之類的設備很搶手,在這個關鍵時刻,全球光刻機一哥ASML的工廠發(fā)生火災,目前損失還在評估中。

據(jù)報道,ASML公司在德國柏林的工廠突然發(fā)生了火災,目前可以確認沒有人員傷亡,但具體的損失情況還不確定。
ASML公司在給媒體發(fā)布的聲明中指出,評估損失需要幾天時間,現(xiàn)在就提出是否影響今年業(yè)績或者就損害索賠等問題還為時尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas,ASML公司2020年才收購了這家公司,后者主要為ASML光刻機制造光學系統(tǒng),這是光刻機的三大核心部件之一。
這家前柏林格拉斯工廠為 ASML 的光刻系統(tǒng)制造組件,這是用于創(chuàng)建計算機芯片電路的大型機器。ASML 在一份聲明中表示,Berliner Glas 制造的設備包括“晶圓臺、標線卡盤和反射鏡塊”。
“目前就損害或該事件是否會對今年的產(chǎn)量計劃產(chǎn)生任何影響發(fā)表任何聲明還為時過早,”ASML 表示,并補充說評估損害需要幾天時間,并將更新盡快上市。
2021年10月底,ASML發(fā)布了Q3財報,凈銷售額52億歐元(約合386億元),毛利率51.7%,凈利潤17億歐元(約合126億元)。官方預計四季度銷售額49億到52億歐元,毛利率在51%到52%。
ASML稱,三季度,EUV光刻機系統(tǒng)的訂單量達到了29億歐元,且當季的出貨量和收入創(chuàng)下歷史新高。目前,ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D,其在客戶那里也達到了每小時加工160片晶圓的創(chuàng)紀錄效率。
DUV(深紫外)光刻機方面,完成出貨1000臺ArF(氟化氬浸沒式光刻系統(tǒng)),這距離第一臺浸沒式光刻機(XT:1700Fi)出貨過去了15年。(快科技)